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“1-3轴气浮平移台”参数说明
“1-3轴气浮平移台”详细介绍
北京航星联合科技有限公司/天津中精微仪器设备有限公司气浮气浮平移台系列是经过我们长期不懈努力推出的，精度高、刚度特别强，已获国家专利。国内外先进水平
气浮平移台实现了设计定型，可以快速订制，行程250mm（12寸）XY台正在备现货。
？ 我公司的气浮平移台产品，一般采用直线电机、光栅尺配合气浮导轨的方法，分辨率好于200nm，精度等同于光栅精度。
？ 也可提供双频激光反馈控制，稳定精度可达20nm，有成功案例。
？ 采取隔尘措施后，可应用于高精度生产场合。
？ 可提供超长行程单轴工作台。
？ 也可采用音圈电机、高精度丝杠配合我们独创的5自由度气浮联轴器，驱动工作台。
？ 平移台可以安装气浮主轴和气浮转台。
3轴龙门气浮平移台（已设计定型）3轴气浮平移台（已设计定型，图示为带防护型）
应用于：集成电路测试、CCD镜头拼接仪等精密应用于：上述龙门气浮平移台所有应用场合，台面相
超精密测量场合。对小一些。此时一般要去掉部分防护。
应用于：高精度激光加工等精密加工场合应用于：光学零件加工设备、超精密加工设备
3轴气浮平移台的一部分可以单独供货，是单轴或双轴气浮平移台
双轴气浮平移台双轴气浮平移台（带防护）单轴气浮平移台单轴气浮平移台（带防护）
其他案例
10m长行程单轴平移台 3轴气浮平移台（带主轴和转台）3轴气浮平移台（Z轴提升式）
气浮平移台实现了设计定型，可以快速订制，行程250mm（12寸）XY台正在备现货。
？ 我公司的气浮平移台产品，一般采用直线电机、光栅尺配合气浮导轨的方法，分辨率好于200nm，精度等同于光栅精度。
？ 也可提供双频激光反馈控制，稳定精度可达20nm，有成功案例。
？ 采取隔尘措施后，可应用于高精度生产场合。
？ 可提供超长行程单轴工作台。
？ 也可采用音圈电机、高精度丝杠配合我们独创的5自由度气浮联轴器，驱动工作台。
？ 平移台可以安装气浮主轴和气浮转台。
3轴龙门气浮平移台（已设计定型）3轴气浮平移台（已设计定型，图示为带防护型）
应用于：集成电路测试、CCD镜头拼接仪等精密应用于：上述龙门气浮平移台所有应用场合，台面相
超精密测量场合。对小一些。此时一般要去掉部分防护。
应用于：高精度激光加工等精密加工场合应用于：光学零件加工设备、超精密加工设备
3轴气浮平移台的一部分可以单独供货，是单轴或双轴气浮平移台
双轴气浮平移台双轴气浮平移台（带防护）单轴气浮平移台单轴气浮平移台（带防护）
其他案例
10m长行程单轴平移台 3轴气浮平移台（带主轴和转台）3轴气浮平移台（Z轴提升式）
