“DX-8A型立式半导体OF面X射线定向仪”参数说明
型号: | Dx-7CZ |
“DX-8A型立式半导体OF面X射线定向仪”详细介绍
该仪器专门用于硅单晶锭的粘结,晶锭用我公司的DX-7C型X射线定向仪测定后,在本仪器上粘结,是和多线切割机配套使用的半导体行业专用设备。
该仪器有一个定位板,由两台单片机控制,步进电机驱动,用于晶锭在粘结料板(工件板)上位置和角度调节。考虑到粘结胶凝固需一定时间,为提高生产率,该仪器可同时容纳3块已粘料板。每块料板上可粘结较短晶锭多块;但如需“复检”,则只能粘2块。
该仪器有一个定位板,由两台单片机控制,步进电机驱动,用于晶锭在粘结料板(工件板)上位置和角度调节。考虑到粘结胶凝固需一定时间,为提高生产率,该仪器可同时容纳3块已粘料板。每块料板上可粘结较短晶锭多块;但如需“复检”,则只能粘2块。
“DX-8A型立式半导体OF面X射线定向仪”其他说明
项目 | 参数 |
晶锭直径 | 2 ~8英寸 |
晶锭最大长度 | 500 |
料板最大长度 | 500 |
料板宽度 | 70 ,100,150 |
定位板转角(α ) | ± 10° |
转角最小读数 | 1″ |